實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī)是一種在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上的設(shè)備。其基本原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上滴注各類膠液，利用離心力將滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度，同時(shí)也與膠液和基片間的粘滯系數(shù)、旋涂時(shí)間等因素有關(guān)。
1、放置基片
將準(zhǔn)備好的基片放置在勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)盤上。對(duì)于有凹槽的真空吸盤軸，應(yīng)將基片輕輕放入凹槽中，并調(diào)整位置使其處于中心位置，保證基片在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不會(huì)偏離。對(duì)于平板結(jié)構(gòu)的真空吸盤軸，應(yīng)將基片水平放置在吸盤上，并輕輕按壓使其吸附牢固。
開(kāi)啟真空泵（如果設(shè)備配備），調(diào)整真空閥門，使基片被牢固地吸附在吸盤上。
2、設(shè)置參數(shù)
根據(jù)不同的材料和實(shí)驗(yàn)要求，設(shè)置合適的轉(zhuǎn)速和時(shí)間。一般來(lái)說(shuō)，低速階段用于滴膠和初步攤開(kāi)膠液，高速階段用于使膠液均勻分布。
常見(jiàn)的設(shè)置是先以較低的轉(zhuǎn)速（500-1000轉(zhuǎn)/分）運(yùn)行幾秒鐘，使膠液初步擴(kuò)散，然后再加速到較高的轉(zhuǎn)速（2000-8000轉(zhuǎn)/分）運(yùn)行幾十秒到幾分鐘，以達(dá)到理想的涂層厚度。
3、滴膠
將膠液滴在基片的中心位置。對(duì)于靜態(tài)滴膠，直接將滴管或移液器中的膠液滴在靜止的基片上；對(duì)于動(dòng)態(tài)滴膠，在基片旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠，這有助于膠液更均勻地分布在基片上。
控制滴膠的速度和量，避免過(guò)快或過(guò)多導(dǎo)致膠液溢出或涂層過(guò)厚。一般來(lái)說(shuō)，滴膠量應(yīng)根據(jù)基片的大小和需要的涂層厚度來(lái)確定。
4、啟動(dòng)勻膠
按下勻膠機(jī)的啟動(dòng)按鈕，設(shè)備開(kāi)始按照設(shè)定的參數(shù)運(yùn)行。在加速旋轉(zhuǎn)攤膠階段，觀察膠液的擴(kuò)散情況，確保膠液能夠均勻地向基片邊緣擴(kuò)散。
在勻速旋轉(zhuǎn)勻膠階段，保持旋轉(zhuǎn)速度的穩(wěn)定性，使膠液在離心力的作用下逐漸形成均勻的涂層。
5、烘烤（如需）
如果實(shí)驗(yàn)要求對(duì)涂層進(jìn)行烘烤，將涂覆好的基片取下，放入烘烤設(shè)備中進(jìn)行烘烤。根據(jù)涂覆材料的特性和工藝要求，設(shè)置合適的烘烤溫度和時(shí)間。烘烤過(guò)程中應(yīng)注意通風(fēng)，排除揮發(fā)的有害物質(zhì)。
6、清洗設(shè)備
實(shí)驗(yàn)完成后，關(guān)閉勻膠機(jī)電源，拔掉電源插頭。將轉(zhuǎn)盤和吸片裝置（如果有）清洗干凈，避免膠液殘留影響下次使用。可以使用適當(dāng)?shù)娜軇┖蛙洸歼M(jìn)行清潔，注意不要損壞設(shè)備的表面。
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更新時(shí)間：2024-10-25
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